[发明专利]一种用于镀制光学薄膜的ZrOx

摘要

本发明提供了一种用于镀制光学薄膜的ZrOx及其制备方法。其主要包括以下步骤：采用ZrO2和ZrH2粉体为原料，按一定的配比混合均匀后进行压块或造粒，然后在高温真空下进行固相合成，并在真空状态下冷却至室温，生成新的化合物ZrOx。该化合物熔点低于二氧化锆，材料在蒸发过程中保持稳定的化学组成，有利于镀膜过程的工艺控制。该材料镀制的光学膜层稳定性和一致性好，在近紫外到近红外波段均有较高的透过率，膜层致密、牢固，化学性质稳定，可作为优质的高折射率材料应用于光学膜系设计和批量的镀膜生产中。