[发明专利]一种管状旋转陶瓷靶材的烧结方法在审
申请号: | 201911393409.3 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN111023838A | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 雷雨;肖世洪;赵明增;周志宏;许积文;杨永添;周昭宇;周昭寅 | 申请(专利权)人: | 广州市尤特新材料有限公司 |
主分类号: | F27D5/00 | 分类号: | F27D5/00;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/64 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 颜希文 |
地址: | 510800 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种管状旋转陶瓷靶材的烧结方法。本发明通过将管状旋转陶瓷靶材生坯置于设有滑移面的承烧板上进行烧结,降低靶材致密化收缩时的摩擦力,有效避免与承烧板接触的靶材端产生变形,或者较严重的开裂,且承烧板的滑移面相对于水平面的倾斜角为10°‑50°,可极大的降低靶材生坯在烧结时因收缩导致与承烧板的摩擦力,有利于靶材致密化及防止靶材产生变形、开裂等缺陷,极大的提高了靶材的良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 管状 旋转 陶瓷 烧结 方法 | ||
【主权项】:
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