[发明专利]一种储存含氟化合物电子级气体钢瓶的钝化处理方法在审
| 申请号： | 201911388659.8 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111139428A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 李海军;柳彤;王云飞;岳立平;孙秋丽;李丹丹;张净普;闫云;张长金 | 申请（专利权）人： | 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/10 | 分类号： | C23C8/10 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 周蜜 |
| 地址： | 057550 河北省邯*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种储存含氟化合物电子级气体钢瓶的钝化处理方法，属于化工技术领域。所述方法通过将氟氮混合气充装到待钝化处理的钢瓶中；将钢瓶温度升高并保持在一定温度下进行钝化；然后用高纯氮气对钢瓶进行置换处理；对钢瓶水分进行检测，最后用高纯氦气对钢瓶内气相组分进行置换并进行轻组分含量分析。通过本方法能使钢瓶内表面形成一层均匀的钝化膜，满足含氟化合物电子级气体的储存使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 储存 氟化 电子 气体 钢瓶 钝化 处理 方法 | ||
【主权项】：
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