[发明专利]一种新型阴极电弧的颗粒过滤器有效
| 申请号： | 201911382889.3 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111074215B | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 胡琅;胡强;侯立涛;冯杰;徐平;方威;黄星星;黄丽玲 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超;黄家豪 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种新型阴极电弧的颗粒过滤器，包括管体，以及套设在管体外的螺线管或多个磁场线圈；还包括设置在管体内的挡环机构；所述挡环机构包括多个沿管体轴线方向排布的挡环，挡环与管体的轴线垂直，挡环具有供阴极电弧穿过的内孔，从前到后，挡环的内孔直径先逐渐减小后逐渐增大。该颗粒过滤器对宏观粒子的过滤能力强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 阴极 电弧 颗粒 过滤器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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