[发明专利]一种反射式反馈锁相激光振动测量装置及其测量方法有效
| 申请号： | 201911379546.1 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111060191B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 李彦呈;武俊峰;吴一辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 巴翠昆 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种反射式反馈锁相激光振动测量装置及其测量方法，包括：反射式振动测量模块，单模半导体激光二极管，锁相激光驱动模块；其中，单模半导体激光二极管，用于向倾斜的被测物表面发出入射激光，接收经反射式振动测量模块返回的反射激光并形成干涉，产生自混合波形并转化为光电流；反射式振动测量模块，用于垂直接收经被测物表面反射后的反射激光，并将反射激光按照原光路返回；锁相激光驱动模块，用于对光电流进行处理，并对单模半导体激光二极管进行反馈控制形成闭环反馈检测，在输出端得到被测物的振动信号。这样采用闭环反馈锁相方式，能够在不同角度下得到幅值稳定的振动测量结果，并且有效应用在垂直入射无法测量的振动测量领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 反馈 激光 振动 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
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