[发明专利]一种集成电路晶圆测试数据自动判断系统有效
| 申请号： | 201911377722.8 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111190919B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 王玉龙;吴一;吴勇佳;刘惠巍;谢勤 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/242 | 分类号： | G06F16/242;G06F16/248 |
| 代理公司： | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人： | 宋振宇 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成电路晶圆测试数据自动判断系统，系统包括产品登记模块、内控运算模块、实时数据分析模块、数据推送模块、人工解锁模块；本发明提供的一种集成电路晶圆测试数据自动判断系统，晶圆数据自动判断系统只需要工程师将需要分析的产品录入到系统中，录入内容包含外控良率标准、Map图失效图形、DC测试项等，设置每天定时去分析登记的产品历史测试数据，设置为内控良率标准。每当有晶圆测试完成后系统将各种判断标准结合起来共同判断，当系统判断出结果异常时会推送给工程师查看，工程师确认无误后再通过系统进行解锁，否则无法进入下一个流程，而没有异常时则可自动进入下一个流程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 测试数据 自动 判断 系统 | ||
【主权项】：
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