[发明专利]柔性电容式振动传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201911372282.7 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111024213B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞 | 申请（专利权）人： | 安徽芯淮电子有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发 |
| 地址： | 235000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性电容式振动传感器及其制作方法。该柔性电容式振动传感器包括第一振动敏感单元、第二振动敏感单元以及隔离层，所述第一振动敏感单元、第二振动敏感单元分别设置在所述隔离层的两侧，并经所述隔离层密封结合成一体。本发明实施例提供的一种柔性电容式振动传感器，结构简单、制备工艺简便、灵敏度高、性能稳定、一致性好、成本低；以及，本发明提供的制作工艺可靠性更高，大大提高了柔性振动传感器的灵敏度；而且提高了器件的稳定性和良率。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 电容 振动 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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