[发明专利]用于观察样本的设备和方法有效
| 申请号： | 201911365409.2 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111383877B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 芮世熙;宋恩范;成明俊 | 申请（专利权）人： | 灿美工程股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06;H01J37/28;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道龙*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种样本观察设备和使用其的样本观察方法，设备包含：柱状部件，面向能够支撑样本的支撑件安置且具有面向支撑件的一个开口侧；带电粒子产生部件，安装在柱状部件内部；以及盖部件，耦合到柱状部件的开口且包括能够传输带电粒子和二次粒子的孔隙，其中在大气压下使用带电粒子观察样本时，可通过减少带电粒子和二次粒子的损失来提高样本图像的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 观察 样本 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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