[发明专利]降低细线化线网断线率并提高导轮寿命的硅棒切割方法在审
申请号: | 201911353901.8 | 申请日: | 2019-12-25 |
公开(公告)号: | CN110978304A | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 冯震坤;白瑞强 | 申请(专利权)人: | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人: | 姬颖敏 |
地址: | 214183 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及降低细线化线网断线率并提高导轮寿命的硅棒切割方法,依次进行长硅棒切割、短硅棒切割和带倾斜端面硅棒切割,分线网位置始终不发生变化,从而起到降低细线化线网断线率并提高导轮寿命的作用。 | ||
搜索关键词: | 降低 细线 化线网 断线 提高 导轮 寿命 切割 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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