[发明专利]柔性压力传感及其制备方法有效
申请号: | 201911348848.2 | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN111044183B | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 冯雪;王志建;刘兰兰;陈颖 | 申请(专利权)人: | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
主分类号: | G01L1/16 | 分类号: | G01L1/16;G01L9/08 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 李萌 |
地址: | 314000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 柔性压力传感及其制备方法,该柔性压力传感器包括,第一电极层、第二电极层、介电层、设置于介电层与第一电极层之间的第一过渡层及设置于介电层与第二电极层之间的第二过渡层,第一过渡层由第一电极层材料及介电层材料混合而成,第二过渡层由第二电极层材料及第二过渡层材料混合而成。该柔性压力传感器能够使得不同的材料之间具有较高的结合力,提高压力传感器的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 柔性 压力 传感 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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