[发明专利]一种刻蚀反应腔的清洁方法在审
| 申请号： | 201911343581.8 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN113035678A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 肖荣健 | 申请（专利权）人： | 东莞新科技术研究开发有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B08B7/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 523087 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及清洁技术领域，公开了一种刻蚀反应腔的清洁方法，通过在刻蚀反应腔的真空度等于第一预设值时，向刻蚀反应腔通入氩气和氧气，并控制刻蚀反应腔的真空度处于第一真空范围，以进行第一次射频辉光放电，从而对刻蚀反应腔内表面进行刻蚀，以使刻蚀反应腔内表面的各种残渣脱落分解，并通过降低通入刻蚀反应腔氩气和氧气的流量，同时控制刻蚀反应腔的真空度处于第二真空范围，以进行第二次射频辉光放电，从而使得刻蚀反应腔的内表面进一步刻蚀，实现对刻蚀反应腔的内表面进行粗糙度处理，使得刻蚀反应腔的内表面更加光滑，避免了现有技术通过打砂处理导致刻蚀反应腔二次污染的问题，进而获得良好的清洁效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 反应 清洁 方法 | ||
【主权项】：
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