[发明专利]一种全干法功能材料剥离的方法在审
| 申请号： | 201911338270.2 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN111115563A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 段辉高;刘卿;陈艺勤;舒志文 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人： | 王翀;阳江军 |
| 地址： | 410082 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种全干法功能材料剥离的方法。本发明通过对衬底进行修饰以降低光刻胶与衬底的粘附力，然后在光刻胶上曝光出所需的结构，再对图案化光刻胶之后的样品镀上功能材料，利用黏贴层选择性的把光刻胶及其上面的功能材料撕走，从而留下图案化之后的功能材料反结构，即代替了现有的湿法剥离方案，实现了高精度绿色的干法剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全干法 功能 材料 剥离 方法 | ||
【主权项】：
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