[发明专利]一种单晶硅用便于调控的生长设备及其生长方法

摘要

本发明公开了一种单晶硅用便于调控的生长设备，包括炉体，炉体上端外壁设有下连接环，炉体顶端设有炉盖，炉盖顶面设有进料口，炉体内设有保温罩，保温罩顶面设有进料斗，炉体内底面固接有托杆，托杆顶端固接有托槽，托槽从外向内依次设有储液腔、环形状的电热板、坩埚，储液腔底面一侧设有进水管、另一侧设有出水管，托杆下端外壁固接有冷水箱，出水管的出水口位于冷水箱内，冷水箱一侧设有水泵，水泵的进水口位于冷水箱内，水泵的出水口与进水管的进水口固接，炉体一侧设有过滤箱，过滤箱的出气口固接有真空泵，过滤箱顶面设有配电箱。本发明结构简单、便于使用，可有效的提高单晶硅的生长速率。