[发明专利]输送装置、基板处理装置以及制造制品的方法有效
| 申请号： | 201911321342.2 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111352307B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 森国雄一朗 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 朱巧博 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及输送装置、基板处理装置以及制造制品的方法。输送装置包括：第一可动设备，其在保持物体的同时移动；第二可动设备，其在保持物体的同时移动并且将物体转移至第一可动设备；和控制器，其控制第一可动设备和第二可动设备。第二可动设备包括引导构件、和布置成能够在保持物体的同时沿着引导构件往复运动的手构件。控制器基于第二可动设备的驱动历史来估计引导构件的与手构件沿着引导构件的往复运动相对应的热变形量，并且控制器基于所估计的热变形量来校正用于使第一可动设备移动至从第二可动设备接收物体的位置的驱动指令值。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 处理 以及 制造 制品 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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