[发明专利]一种电容式直线位移传感器及其动尺有效
申请号: | 201911320899.4 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN113008120B | 公开(公告)日: | 2023-09-22 |
发明(设计)人: | 彭凯;于治成;刘小康;王合文;蒲红吉 | 申请(专利权)人: | 通用技术集团国测时栅科技有限公司 |
主分类号: | G01B7/02 | 分类号: | G01B7/02 |
代理公司: | 重庆华科专利事务所 50123 | 代理人: | 康海燕;唐锡娇 |
地址: | 401329 重庆*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明公开了一种电容式直线位移传感器及其动尺,动尺包括动尺基体和感应电极,感应电极具有三测头或四测头的结构形式,传感器包括定尺和动尺,定尺包括定尺基体和激励电极,激励电极的A相激励信号引线与C相激励信号引线在激励电极的一侧组成双绞线,B相激励信号引线与D相激励信号引线在激励电极的另一侧组成双绞线。双绞线的结构形式能消除引线串扰,从而减小干扰信号对测量精度的影响,保证测量精度;三测头或四测头的结构形式,能提高感应电极的面积利用率,增大了耦合电容值,从而提高了信噪比,并且对其输出信号进行数据融合,还可以有效地消除某些特定频率的谐波误差,进一步提高测量精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 电容 直线 位移 传感器 及其 | ||
【主权项】:
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