[发明专利]一种用于微球全表面缺陷检测的辅助测量装置及测量方法

摘要

本发明涉及光学检测空间物体表面三维形貌技术领域，具体地，涉及一种用于微球全表面缺陷检测的辅助测量装置及测量方法，包括主轴、辅助轴、自转电机、连接板、转台和xyz方向位移台等，主轴通过转台可在竖直平面内自由转动，配合主轴自转电机，按照不同纬度方向的环带依次从顶端方向到赤道方向将微球表面展露在白光干涉显微物镜下，主轴处于水平位置时，主辅轴系正交放置实现微球的空间位置交换，通过使微球规律地旋转获得覆盖微球全表面的形貌数据。本发明通过白光扫描干涉测量，确保采集图像间形成覆盖，达到微球全表面无遗漏测量，解决了现有技术中使用原子力显微镜测量所造成的轨迹间孤立缺陷点容易被忽略、信息量偏低等局限性。