[发明专利]一种水平对中校准夹具、拉晶炉及水平对中校准方法有效
| 申请号： | 201911311540.0 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN110952134B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 潘浩;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/12 | 分类号： | C30B15/12;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种水平对中校准夹具，包括：若干支撑架、若干第一平衡件以及若干可为竖直状态或水平状态的测量组件，其中，所述第一平衡件设置于所述支撑架上，所述测量组件活动设置于所述支撑架上，且所述测量组件处于竖直状态时，所述测量组件以第一校准值为基准测量待测量件的第一状态，所述测量组件处于水平状态时，所述测量组件以第二校准值为基准测量待测量件的第二状态。本发明所提供的水平对中校准夹具可以确保待测量件处于水平对中状态，为后续处理工序奠定基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水平 校准 夹具 拉晶炉 方法 | ||
【主权项】：
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