[发明专利]晶体生长装置有效
| 申请号： | 201911308001.1 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN110886014B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 陈泽斌;张洁;廖弘基;陈华荣 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京超成律师事务所 11646 | 代理人： | 王雪 |
| 地址： | 362200 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶体生长装置，涉及晶体制备装置的技术领域，该晶体生长装置包括坩埚、包覆在坩埚的外侧的保温罩以及隔离罩；隔离罩沿坩埚的侧壁的周向环设在坩埚的侧壁与保温罩之间。本发明通过在保温罩与坩埚之间设置隔离罩，隔离罩避免了硅蒸气逸出到保温罩上，从而避免了对保温罩造成腐蚀，保证了保温罩的保温效果，提高了晶体生长的稳定性；并延长了保温罩的使用寿命，使得保温罩不需要频繁更换，也不需要加厚，节约了制备保温罩的保温材料，降低了保温罩的用料成本以及人工更换的人工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
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