[发明专利]等离子体反应器及其气体喷嘴有效
| 申请号： | 201911307952.7 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN113000233B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 曹思盛;张洁;刘志强;左涛涛 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B1/00 | 分类号： | B05B1/00;B05B1/14;B05B13/02;B05D5/00;B05D1/36;B05D7/22;B05D7/24;C23F4/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张静 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种等离子体反应器及其气体喷嘴，所述等离子体反应器具有内衬，所述气体喷嘴包括：插入部，所述插入部的第一端用于插入固定在管道的气体出口，与所述第一端相对的第二端用于置于所述管道外部；出气部，所述出气部的一侧表面具有安装槽，所述安装槽朝向所述插入部的第二端，且所述插入部的第二端与所述安装槽底部连接，所述出气部相对的另一侧表面具有主气体喷口；其中，所述气体喷嘴内具有连通所述插入部第一端与所述主气体喷口的主气体喷射通道；所述内衬具有用于放置在所述安装槽内的安装部，所述安装部位于所述内衬具有所述气体出口的表面，凸出该表面。应用本发明提供的技术方案，可以有效防止气体腐蚀现象发生。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 反应器 及其 气体 喷嘴 | ||
【主权项】：
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