[发明专利]自准直仪有效

专利信息
申请号: 201911303271.3 申请日: 2019-12-17
公开(公告)号: CN110940298B 公开(公告)日: 2021-07-27
发明(设计)人: 彭川黔 申请(专利权)人: 重庆理工大学
主分类号: G01B11/26 分类号: G01B11/26
代理公司: 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 代理人: 李海华
地址: 400054 重*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明涉及一种自准直仪,包括光源、分束镜、准直透镜以及CCD,还包括双劈尖机构,光源发出的光束依次穿过分束镜、准直透镜和双劈尖机构,双劈尖机构包括沿光束间隔设置的两单体楔形劈尖,穿过双劈尖机构后的光束形成为测试入射光路;两单体楔形劈尖可独立转动以使测试入射光路以法线入射的形式入射到待测面,待测面的反射光路沿测试入射光路返回,穿过劈尖和透镜,经分束镜反射后在CCD上形成光斑;待测面偏移量通过两单体楔形劈尖的转动量获取。测量时,光束工作于法线入射模式,双劈尖机构不引入像差,光束均沿光轴工作,各光学元件引入误差相同,测量精度不受距离限制;克服了传统仪器因测量距离、角度增大引入各光学元件角度测量误差的问题。
搜索关键词: 准直仪
【主权项】:
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