[发明专利]一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置在审
| 申请号： | 201911293269.2 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN111015577A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 李渊明;王辉;周烽;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B25B27/00 | 分类号： | B25B27/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张欣然 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，包括第一滑台安装板和第二滑台安装板，第一滑台安装板和第二滑台安装板的一端铰接；设于第一滑台安装板和第二滑台安装板间、用以调节二者间夹角的倾角调节组件；第一滑台安装板上设有用于与基准板可拆卸的固定连接的第一滑台，第一滑台能够在第一滑台安装板上滑动；第二滑台安装板上设有用于与框架板可拆卸的固定连接的第二滑台，第二滑台能够在第二滑台安装板上滑动，第一滑台的滑动方向和第二滑台的滑动方向在空间上垂直。上述装置结构简单，可实现三个自由度的调节，进行高精度定位和安装，同时减轻操作人员在装调时的体力劳动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 机主 支撑架 框架 安装 装置 | ||
【主权项】：
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