[发明专利]一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置

说明书

本发明公开了一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，包括第一滑台安装板和第二滑台安装板，第一滑台安装板和第二滑台安装板的一端铰接；设于第一滑台安装板和第二滑台安装板间、用以调节二者间夹角的倾角调节组件；第一滑台安装板上设有用于与基准板可拆卸的固定连接的第一滑台，第一滑台能够在第一滑台安装板上滑动；第二滑台安装板上设有用于与框架板可拆卸的固定连接的第二滑台，第二滑台能够在第二滑台安装板上滑动，第一滑台的滑动方向和第二滑台的滑动方向在空间上垂直。上述装置结构简单，可实现三个自由度的调节，进行高精度定位和安装，同时减轻操作人员在装调时的体力劳动。

技术领域

本发明涉及光刻机辅助安装设备领域，更具体地说，涉及一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置。

背景技术

随着光刻机分辨率也越来越高，光刻镜头的光机结构也越来越复杂，已逐渐从原来的两镜系统发展到了六镜系统。随着镜组的增加光刻机镜头的整体重量随之增加，为了减小光刻机镜头的重量，光刻机镜头主支撑框架的安装板多根据光机结构的布置选用与基准板呈倾斜角度布置的方案，以压缩光刻镜头内不必要的空间，达到减少光刻机投影物镜总体尺寸和重量的目的。由于镜组对支撑框架安装精度较高，且框架板本身质量较大，采用吊装的方式实现框架板的安装难度较大。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，以解决现有框架板在安装时需要与基准板对准、通过吊装安装时对准难度大，对准精度低等问题。

为了达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，包括：

第一滑台安装板和第二滑台安装板，所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板的一端铰接；

设于所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板间、用以调节二者间夹角的倾角调节组件；

所述第一滑台安装板上设有用于与基准板可拆卸的固定连接的第一滑台，所述第一滑台能够在所述第一滑台安装板上滑动；所述第二滑台安装板上设有用于与框架板可拆卸的固定连接的第二滑台，所述第二滑台能够在所述第二滑台安装板上滑动，所述第一滑台的滑动方向和所述第二滑台的滑动方向在空间上垂直。

可选地，所述倾角调节组件包括滑杆和在所述滑杆上滑动的滑块，所述滑块上分别铰接有第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的另一端与所述第一滑台安装板铰接，所述第二连杆的另一端与所述第二滑台安装板铰接；

所述滑块在所述滑杆上滑动分别带动所述第一连杆和所述第二连杆转动，以调节所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板间的夹角。

可选地，所述滑杆设于所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板的夹角的角平分线上，所述第一连杆和所述第二连杆在所述滑块上相对设置，所述第一连杆和所述第二连杆的长度相等。

可选地，所述滑杆的一端设有手柄，所述手柄与所述滑杆可拆卸的固定连接。

可选地，所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板经旋转轴铰接，所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板分别设有用于安装所述旋转轴的支座。

可选地，所述滑杆具体为丝杠，所述滑块具体为螺母，所述旋转轴上套设有滑杆固定套，所述丝杠的一端经转动轴承设于所述滑杆固定套内。

可选地，所述第一滑台的滑动方向垂直于所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板的旋转轴线，所述第二滑台的滑动方向平行于所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板的旋转轴线。

可选地，所述第一滑台和所述第二滑台均分别包括基座和设于所述基座上且相对滑动的动平台，所述动平台螺纹连接有滑台丝杠，所述滑台丝杠的一端固接有从动锥齿轮，所述基座上设有滑动手柄，所述滑动手柄的一端设有用于与所述从动锥齿轮配合的主动锥齿轮。