[发明专利]竖直腔面发射激光装置与制作微透镜的方法在审
| 申请号： | 201911271985.0 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN112542766A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 陈志彬;刘铭棋 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 顾伯兴 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 在一些实施例中，本发明涉及一种竖直腔面发射激光(VCSEL)装置，其包含布置在反射层堆叠上方的微透镜。反射层堆叠包括第一材料和第二材料的交替反射层。微透镜堆叠包含第一透镜层、布置在第一透镜层上方的第二透镜层以及布置在第二透镜层上方的第三透镜层。第一透镜层包括第一元素的第一平均浓度且具有第一宽度。第二透镜层包括大于第一平均浓度的第一元素的第二平均浓度且具有小于第一宽度的第二宽度。第三透镜层包括大于第二平均浓度的第一元素的第三平均浓度且具有小于第二宽度的第三宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 竖直 发射 激光 装置 制作 透镜 方法 | ||
【主权项】：
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