[发明专利]蒸汽发生装置在审
| 申请号： | 201911268269.7 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112944307A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 张少帅;王俊;吴均;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | F22B1/28 | 分类号： | F22B1/28;F22B35/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸汽发生装置，包括：用于容纳药液的药液储罐；用于容纳具有设定温度的保温介质的介质保温槽；所述药液储罐置于所述介质保温槽内，药液储罐通过接触保温介质使药液维持设定温度；载气供给模块，包括载气源与载气供给管路；载气供给管路包括进气端和出气端，进气端连接载气源，出气端伸入药液中；载气供给模块还包括载气分布单元，其用于使载气分布为气泡，且与药液液面保持设定距离；连接于药液储罐上部的蒸汽输出管路，用于输出携带有药液蒸汽的载气。本发明通过水浴进行恒温控制，避免了直接加热造成的安全隐患，并结合稳定的载气供给，使其所供给的异丙醇蒸汽含量高且组分稳定，以确保异丙醇取干具有稳定的工艺效果。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸汽 发生 装置 | ||
【主权项】：
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