[发明专利]湿工艺装置有效
| 申请号： | 201911265514.9 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112620279B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 冯传彰 | 申请（专利权）人： | 辛耘企业股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/02 | 分类号： | B08B11/02;B08B11/04;B08B3/02;B08B3/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 张燕华;祁建国 |
| 地址： | 中国台湾台北市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种湿工艺装置，用于大尺寸且呈矩型的玻璃基板，其包含一处理槽、一支架、一承载组件及至少一致动机构。处理槽顶部设有一开口，承载组件设置在支架，承载组件的至少一部分供承载玻璃基板且可活动地对应开口配置而能够移动而通过开口出入处理槽。致动机构连动承载组件而能够驱动承载组件在处理槽内带动玻璃基板。因此，能够处理大尺寸矩型玻璃基板且良率佳。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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