[发明专利]光学元件亚表面缺陷的多通道原位检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201911259313.8 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN111060516B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 张霖;许乔;石振东;陈坚;马骅;马可;白金玺;李杰;柴立群;赵建华;黄明 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;合肥知常光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/64;G01N25/20 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种光学元件亚表面缺陷的多通道原位检测装置及检测方法，用于玻璃等光学元件缺陷测试。该装置包括由荧光共聚焦成像系统、荧光寿命成像系统、光热吸收成像系统三个通道构成，可一次性实现光学元件亚表面微纳缺陷几何形态、光致荧光、光热吸收特性的原位测试。本发明具有装置结构紧凑、检测通用性强、稳定性高的特点，适用于亚表面缺陷的高灵敏度无损检测。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 表面 缺陷 通道 原位 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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