[发明专利]一种微型化装置的制备方法及其应用在审
| 申请号： | 201911247625.7 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN111299818A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 张晨初;叶罕昌;张健明;陈任飞 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | B23K26/0622 | 分类号： | B23K26/0622 |
| 代理公司： | 安徽汇朴律师事务所 34116 | 代理人： | 刘海涵 |
| 地址： | 230009 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型化装置的制备方法及其应用，涉及微纳米加工领域，系统主要包括：飞秒激光器、空间光调制器、第一透镜、第二透镜、高倍物镜、加工平台、计算机，通过由透镜1和透镜2组成的光束准直系统和高倍物镜后，光束在被物镜聚焦之前实现了收缩。激光束照射到反射的空间光调制器上，并加载计算机生成的全息图以生成各种所需的模式结构。用图形化亚焦点代替单焦点，在单次曝光中加工设计的结构。特别是在制作复杂的大区域微结构方面，图形曝光具有更高的效率；本发明提供的图案化曝光和单点直写相结合技术是一种简单、快速和有效的集成二维和三维微观结构的方法，可用于微流控芯片加工等实际应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 化装 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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