[发明专利]一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜有效
| 申请号： | 201911236807.4 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN110993475B | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 郭卫民;丁宁;刘珑;侯南;李囡 | 申请（专利权）人： | 山东省分析测试中心 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28;G01N23/2204;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张庆骞 |
| 地址： | 250014 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜。其中，用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台包括至少一个样品孔，所述样品孔内设置有第一转动辅，所述第一转动辅用于支撑断口样品，所述第一转动辅的底部设置有第一转动轴，第一转动辅可绕第一转动轴在水平面的预设角度范围内转动；所述第一转动轴固定在第二转动辅上，所述第二转动辅两端分别与一个第二转动轴对应相连，所述第二转动辅可绕两端的第二转动轴在预设角度范围内转动；两个第二转动轴分别与支架的两端相连，所述支架固定在样品孔内。其可对单个断口样品进行倾斜而不影响其他断口样品，提高扫描电镜测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 断口 分析 扫描电镜 万向 转动 样品 | ||
【主权项】：
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