[发明专利]一种自供电读取多级电阻态的阻变存储器及其制备方法在审
| 申请号： | 201911228673.1 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN111129294A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 徐海阳;王中强;陶冶;丁文涛;赵晓宁;刘益春 | 申请（专利权）人： | 东北师范大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 陈玲玉 |
| 地址： | 130024 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种自供电读取多级电阻态的阻变存储器及其制备方法，属于微电子器件领域。所述阻变存储器的器件结构包括惰性底电极和顶电极金属钨，以及介于二者之间的自供电层和阻变层。其中，自供电层是经过氧等离子体处理的非晶碳薄膜，薄膜内部含有大量氧官能团；当顶电极金属钨沉积于非晶碳薄膜上时，在界面位置金属钨会与氧官能团结合，自发形成阻变层WO |
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| 搜索关键词： | 一种 供电 读取 多级 电阻 存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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