[发明专利]大视场成像物镜有效
| 申请号: | 201911206582.8 | 申请日: | 2019-11-29 |
| 公开(公告)号: | CN112882208B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
| 发明(设计)人: | 李润芝;于大维;侯宝路;李运锋 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号: | G02B13/06 | 分类号: | G02B13/06;G02B13/22;G02B1/00;G02B27/12 |
| 代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 王宏婧 |
| 地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本发明中提供一种大视场成像物镜,沿光束入射方向依次包括具有正光焦度的第一透镜组、光阑、具有正光焦度的第二透镜组、具有负光焦度的第三透镜组及具有正光焦度的第四透镜组,其中,物镜总长≤850mm,适用于450‑650nm的宽光谱,放大倍率为‑10x,物方的数值孔径NA≤0.3,物方视场的直径为8.4mm。相比于现有成像镜头,本发明提供的成像物镜,在相同的接近衍射极限的像质要求下,具有更长工作距,更大视场范围,能够满足系统的空间需求,可有效实现大孔径、大倍率、双远心系统的像差校正。 | ||
| 搜索关键词: | 视场 成像 物镜 | ||
【主权项】:
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