[发明专利]大视场成像物镜有效

专利信息
申请号: 201911206582.8 申请日: 2019-11-29
公开(公告)号: CN112882208B 公开(公告)日: 2022-08-02
发明(设计)人: 李润芝;于大维;侯宝路;李运锋 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G02B13/06 分类号: G02B13/06;G02B13/22;G02B1/00;G02B27/12
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 视场 成像 物镜
【说明书】:

发明中提供一种大视场成像物镜,沿光束入射方向依次包括具有正光焦度的第一透镜组、光阑、具有正光焦度的第二透镜组、具有负光焦度的第三透镜组及具有正光焦度的第四透镜组,其中,物镜总长≤850mm,适用于450‑650nm的宽光谱,放大倍率为‑10x,物方的数值孔径NA≤0.3,物方视场的直径为8.4mm。相比于现有成像镜头,本发明提供的成像物镜,在相同的接近衍射极限的像质要求下,具有更长工作距,更大视场范围,能够满足系统的空间需求,可有效实现大孔径、大倍率、双远心系统的像差校正。

技术领域

本发明涉及成像技术领域,尤其涉及一种大视场成像物镜。

背景技术

随着工业技术的发展,在生物、遗传、医疗、工业等检测领域,对检测精度、检测速度、检测尺寸的要求不断提高,所以对自动光学检测(AIO)设备及成像物镜的要求也越来越高,尤其是能够满足大工件、大视场、无畸变精密检测需求的成像物镜,从设计和制造上来说,都是非常困难的。

发明内容

本发明的目的在于提供一种大视场成像物镜,以实现大孔径、大倍率、双远心系统的像差校正。

本发明提供一种大视场成像物镜,包括:沿光束入射方向依次设置有具有正光焦度的第一透镜组、光阑、具有正光焦度的第二透镜组、具有负光焦度的第三透镜组及具有正光焦度的第四透镜组;其中,所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组满足以下关系式:

0.2|f1/f2|1

3|f2/f3|9

0.1|f3/f4|0.5

0.1|f1/f4|1

其中,f1为第一透镜组的焦距,f2为第二透镜组的焦距,f3为第三透镜组的焦距,f4为第四透镜组的焦距。

可选的,所述第一透镜组至少由3片透镜构成,其中包括3片正透镜;

所述第二透镜组至少由5片透镜构成,其中包括两个双胶合透镜组及1片正透镜;

所述第三透镜组至少由2片透镜构成,其中包括2片负透镜;

所述第四透镜组至少由2片透镜构成,其中包括2片正透镜;

其中,除两个双胶合透镜组以外,其余8片透镜均为球面单透镜。

可选的,所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组满足以下关系式:

0.5|f1/f2|1

3|f2/f3|4.5

0.1|f3/f4|0.5

0.1|f1/f4|1

其中,f1为第一透镜组的焦距,f2为第二透镜组的焦距,f3为第三透镜组的焦距,f4为第四透镜组的焦距。

可选的,所述第一透镜组由3片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月正透镜、双凸正透镜及弯月正透镜;

所述第二透镜组由5片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月负透镜与双凸正透镜组成的双胶合透镜组、双凸正透镜与弯月负透镜组成的双胶合透镜组及双凸正透镜;

所述第三透镜组由2片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月负透镜和弯月负透镜;

所述第四透镜组由2片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月正透镜和双凸透镜。

可选的,所述大视场成像物镜的物方场曲小于0.35um,畸变小于0.03%。

可选的,所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组满足以下关系式:

0.2|f1/f2|1

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