[发明专利]对准标记、标记搜索装置、标记搜索方法和光刻设备有效
| 申请号： | 201911206576.2 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN112882357B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 吴远焰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种对准标记、标记搜索装置、标记搜索方法和光刻设备。对准标记置于光刻设备的衬底上和/或衬底台的基准板上，对准标记呈L型，包括垂直相交的第一分支和第二分支，第一分支由第一光栅结构并排构成，且第一光栅结构与第一分支的延伸方向具有第一夹角；第二分支由第二光栅结构并排构成，且第二光栅结构与第二分支的延伸方向具有第二夹角，所述第一夹角和所述第二夹角互为余角。所述标记搜索方法结合对准标记的形状，先通过螺旋式移动衬底台获取对准标记的粗搜索位置，再结合得到的粗搜索位置，通过对角式移动衬底台获取对准标记的精搜索位置。粗搜索扫描使得标记搜索方法耗时变短，提升了效率；精搜索提高了标记搜索方法的精准度。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 搜索 装置 方法 光刻 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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