[发明专利]一种柔性太阳能电池片铜铟镓硒共蒸法的硒源加热系统

摘要

本发明涉及一种柔性太阳能电池片铜铟镓硒共蒸法的硒源加热系统，解决了目前铜铟镓硒共蒸法的硒源加热的热场不均匀，硒蒸气不稳定，膜层均匀性不佳、成分偏差，甚至无法用于制造电池问题。本装置包括内部装有硒源的硒盒，硒盒顶面开设有硒蒸气喷口，硒盒的顶面或者侧面顶部设有可开合的硒源加料口，其特征在于：所述硒盒的顶面上方贴设有加热器，环绕硒盒底面和所有侧面设有温控系统，温控系统的温度低于加热器温度。本发明对硒源采用上加热、下冷却的温控方法，硒蒸气从硒源上表面蒸发生成，生成的硒蒸气平稳，气压稳定、线性可控，大大提高了硒源蒸发的稳定性，提升产品质量。