[发明专利]具有工作温度实时监控功能的高温三维霍尔传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201911201576.3 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110911548B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 黄火林;张卉 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | H01L43/04 | 分类号： | H01L43/04;H01L43/06;H01L43/10;H01L43/14;H01L27/22 |
| 代理公司： | 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人： | 马庆朝 |
| 地址： | 116023 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 具有工作温度实时监控功能的高温三维霍尔传感器及其制作方法,属于半导体传感器领域。技术方案：衬底上依次生长缓冲层、外延层和势垒层，所述外延层异质结界面处的势阱中存在高密度由极化电荷诱导产生的二维电子气；所述衬底下表面设有用于感测平行于器件表面磁场的垂直型霍尔传感器，所述势垒层上表面设置有用于感测垂直于器件表面磁场的“十”字水平型霍尔传感器。有益效果是:本发明采用适应高温环境的完全宽禁带材料，可以在高温下测量空间任意方向的磁场，同时具有尺寸小、灵敏度高等特点，可以在不影响传感器正常工作的前提下进行精确磁场测量和实时工作温度监测，未来有望广泛应用于各种军事、航空航天、医学、微型和纳米型传感器中。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 工作温度 实时 监控 功能 高温 三维 霍尔 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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