[发明专利]真空腔内的自动水平调整系统以及真空浮动高度调整器有效
| 申请号： | 201911199467.2 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN112882399B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 刘冠志;温志群 | 申请（专利权）人： | 财团法人金属工业研究发展中心 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;G01B11/06;C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 罗英;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾高雄*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提出一种真空腔内的自动水平调整系统以及真空浮动高度调整器。自动水平调整系统包括腔体、平台以及多个高度调整器。平台位于腔体内。多个高度调整器设置在腔体的腔体底部的多个边缘位置。所述多个高度调整器各别的一端部装设在平台的多个底部位置，以使平台水平地位于腔体内。当腔体发生腔体形变时，所述多个高度调整器用以吸收腔体形变所产生的位移，以使平台维持水平。 | ||
| 搜索关键词： | 空腔 自动 水平 调整 系统 以及 真空 浮动 高度 调整器 | ||
【主权项】：
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