[发明专利]量测机台水箱的控制方法及系统在审
| 申请号： | 201911198481.0 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN112882501A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 梁学玉 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G05D9/12 | 分类号： | G05D9/12 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 该发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种量测机台水箱的控制方法及系统。该方法包括：提供备用水箱，放置于水箱一侧，将两者用导管进行连通；通过微控制器来控制，将所述备用水箱中冷却液自动补充至所述水箱；所述微控制器计算并预测下次向备用水箱中加注冷却液的时间。本发明通过对水箱结构进行改进，在原有水箱一侧新增加备用水箱，可以自动向水箱中补充冷却液，可以与机台主机相自动化连接，从而能够实现精准对水箱液位进行实时自动补充。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 水箱 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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