[发明专利]设置有插入结构与温补层的体声波谐振器、滤波器和电子设备在审
| 申请号： | 201911197914.0 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN111313857A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 杨清瑞;庞慰;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/15;H03H9/17;H03H9/13 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；压电层，温补层，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域；压电层中设置有沿有效区域的边缘布置的复合插入结构，复合插入结构包括第一插入层和第二插入层，在谐振器的俯视图中，第一插入层的至少一部分与所述有效区域重叠，且在谐振器的俯视图中，第一插入层与第二插入层至少部分重叠；第一插入层为金属材料且第二插入层为空气或介质材料，或者第一插入层为介质材料且第二插入层为空气，在谐振器的俯视图中，温补层的至少一部分位于有效区域内，且温补层的材料为与压电层频率温度系数相反的材料。本发明还涉及滤波器与电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 设置 插入 结构 温补层 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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