[发明专利]一种蚀刻装置在审
| 申请号： | 201911189943.2 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110764375A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 周宏建;何相平 | 申请（专利权）人： | 上海骄成机电设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 200241 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于砧座生产加工技术领域，公开了一种蚀刻装置。该蚀刻装置，包括箱体，箱体用于容纳刻蚀液，箱体的一侧为开口，驱动件，其设置于箱体上；传动组件，传动组件的一端连接于驱动件的输出端，另一端可拆卸连接于待刻蚀工件，驱动件被配置为通过传动组件驱动待刻蚀工件转动，使待刻蚀工件的外周面覆盖有刻蚀液。该刻蚀装置，与现有技术相比，通过驱动件和传动组件的相互配合，在待刻蚀工件的回转运动过程中，实现对待刻蚀工件均匀、有效刻蚀，刻蚀效果好，提高了成品质量。同时，缩短了待刻蚀工件的生产工艺中蚀刻工序的时间，实现了半自动化生产，从而提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀工件 传动组件 驱动件 蚀刻装置 刻蚀液 蚀刻 半自动化生产 可拆卸连接 工作效率 回转运动 刻蚀效果 刻蚀装置 生产加工 一端连接 输出端 外周面 刻蚀 砧座 生产工艺 转动 开口 驱动 容纳 覆盖 配置 配合 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻装置，包括箱体(1)，所述箱体(1)用于容纳刻蚀液，其特征在于，所述箱体(1)的一侧为开口，还包括：/n驱动件(2)，其设置于所述箱体(1)上；/n传动组件(3)，所述传动组件(3)的一端连接于所述驱动件(2)的输出端，另一端可拆卸连接于待刻蚀工件(100)，所述驱动件(2)被配置为通过所述传动组件(3)驱动所述待刻蚀工件(100)转动，使所述待刻蚀工件(100)的外周面覆盖有所述刻蚀液。/n
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