[发明专利]一种晶圆表面的加工方法在审
| 申请号： | 201911188515.8 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN112846948A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 龙命潮 | 申请（专利权）人： | 东莞新科技术研究开发有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;H01L21/304;B08B3/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 523087 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆表面的加工方法，包括以下步骤：(1)将保护胶涂覆在晶圆的正面；(2)对晶圆背面进行第一次研磨，所述研磨液中分散有8～10nm的金刚石粉作为研磨粒子，所述研磨液的pH为9～12；(3)对晶圆背面进行第二次研磨，所述研磨液中分散有3～5nm的金刚石粉作为研磨粒子，所述研磨液的pH为9～12，(4)去除晶圆正面的保护胶，对晶圆正面进行第三次研磨，所述研磨液中分散有3～5nm的金刚石粉作为研磨粒子，所述研磨液的pH为9～12。本发明的晶圆表面的加工方法通过对晶圆背面进行两次研磨并且控制研磨液的pH和研磨粒子的粒径，制备得到的晶圆表面无腐蚀，表面平整光滑且无划痕。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 加工 方法 | ||
【主权项】：
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