[发明专利]二维静电扫描微镜在审
| 申请号： | 201911187892.X | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110703430A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 孙其梁;程进;徐乃涛;李宋泽 | 申请（专利权）人： | 无锡微视传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G02B26/08 |
| 代理公司： | 32291 江苏漫修律师事务所 | 代理人： | 平梁良 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二维静电扫描微镜，包括外边框、内边框和镜面，外边框上加工有外框隔离槽，将外边框分隔为外框测量部、外框驱动部和两个外框连接部；外框测量部和内边框之间具有外反馈梳齿组，外框驱动部和内边框之间具有外驱动梳齿组，镜面加工有镜面隔离槽，将镜面分隔的镜面反馈部、镜面驱动部和中心部；镜面反馈部和镜面驱动部分别与内边框之间加工有内反馈梳齿组和内驱动梳齿组。通过在外边框和镜面设置不同结构的隔离槽，将外边框和镜面分隔为不同的功能部分，将内外梳齿组分别设置为驱动梳齿组和反馈梳齿组，可以实现对镜面在两个方向偏转角度的测量，可以实时反馈镜面在不同方向的偏转角度，并提高镜面偏转角度控制的精确性。 | ||
| 搜索关键词： | 镜面 梳齿组 外边框 外框 内边框 分隔 偏转 镜面驱动 驱动梳齿 测量 反馈部 隔离槽 外框连接部 方向偏转 角度控制 镜面隔离 镜面加工 扫描微镜 实时反馈 反馈 驱动 内反馈 内驱动 中心部 静电 二维 加工 | ||
【主权项】：
1.一种二维静电扫描微镜，包括外边框（1）、内边框（2）和镜面（3），外边框（1）和内边框（2）通过外扭转梁（4）连接，内边框（2）和镜面（3）通过内扭转梁（5）连接，内扭转梁（5）和外扭转梁（4）的方向相互垂直，其特征在于：所述外边框（1）上加工有外框隔离槽（6），将外边框（1）分隔为外框测量部（1-1）、外框驱动部（1-2）和两个外框连接部（1-3）；外框测量部（1-1）和内边框（2）之间具有外反馈梳齿组（7-1），外框驱动部（1-2）和内边框（2）之间具有外驱动梳齿组（7-2）。/n
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