[发明专利]张网装置及张网方法有效
| 申请号： | 201911183833.5 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112846604B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 胡聪;肖起康;廖飞红;李新振;谢洋;董浩 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K37/04 | 分类号： | B23K37/04;C23C14/04;C23C14/24;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种张网装置及张网方法，包括两对定位夹持结构及至少一对形变夹持结构，每对定位夹持结构和每对形变夹持结构均设置于支撑框架相对的第一侧和第二侧，第一侧和第二侧上，所述形变夹持结构位于两个定位夹持结构之间；所述定位夹持结构及所述形变夹持结构均能够沿水平方向移动，且所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上均设置有位置测量单元。本发明通过两对定位夹持结构实现支撑框架的定位夹持，至少一对形变夹持结构实现形变，结构简单紧凑，同时兼容压紧和精对准的功能，在保证精度的同时可以节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
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