[发明专利]一种提高大尺寸直拉单晶效率的方法有效

专利信息
申请号: 201911182250.0 申请日: 2019-11-27
公开(公告)号: CN112853476B 公开(公告)日: 2023-01-24
发明(设计)人: 赵志远;武志军;郭谦;霍志强;郭志荣;张石晶;王胜利;韩凯 申请(专利权)人: 内蒙古中环光伏材料有限公司
主分类号: C30B15/20 分类号: C30B15/20;C30B29/06
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 发明揭露了一种提高直拉单晶效率的方法,所述直拉单晶包括缓降温,在缓降温时,对应不同的晶体位置区间,设置不同的取段慢速以及慢速提升时间,且在不进行复投的缓降温基础上,对应不同的晶体位置区间,单晶炉主室内设置不同的熔硅功率,且晶体位置区间相对较低的单晶,其取段慢速相对较快,慢速提升时间相对较短,所述熔硅功率相对较低,晶体位置区间相对较高的单晶则相反,如此,减少了一些短单晶不必要的多余缓降温时间,从而大大提高了生产效率,而且减少了气体用量以及耗电量,从而降低了生产成本。
搜索关键词: 一种 提高 尺寸 直拉单晶 效率 方法
【主权项】:
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