[发明专利]一种提高大尺寸直拉单晶效率的方法有效
申请号: | 201911182250.0 | 申请日: | 2019-11-27 |
公开(公告)号: | CN112853476B | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 赵志远;武志军;郭谦;霍志强;郭志荣;张石晶;王胜利;韩凯 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 提高 尺寸 直拉单晶 效率 方法 | ||
本发明揭露了一种提高直拉单晶效率的方法,所述直拉单晶包括缓降温,在缓降温时,对应不同的晶体位置区间,设置不同的取段慢速以及慢速提升时间,且在不进行复投的缓降温基础上,对应不同的晶体位置区间,单晶炉主室内设置不同的熔硅功率,且晶体位置区间相对较低的单晶,其取段慢速相对较快,慢速提升时间相对较短,所述熔硅功率相对较低,晶体位置区间相对较高的单晶则相反,如此,减少了一些短单晶不必要的多余缓降温时间,从而大大提高了生产效率,而且减少了气体用量以及耗电量,从而降低了生产成本。
技术领域
本发明涉直拉法生长单晶硅技术领域,尤其涉及一种提高大尺寸直拉单晶效率的方法。
背景技术
直拉法生长单晶是目前生产单晶最广泛的应用技术,目前的拉单晶过程中,不管是正常取段,还是异常断苞,也不管正常取段以及异常断苞时晶体的位置区间(从晶体的位置区间判断晶棒的长度),其进行缓降温的工艺是一样的,即取段慢速(即取段或断苞后晶棒往上移动的速度)、慢速提升时间(即取段或断苞后晶棒往上移动的时间)都保持不变,而该些参数是按照正常取段时晶棒为设定长度(即设定晶体位置区间)来设定的,且因为缓降温工艺不变,单晶炉主室内对应的熔硅功率也保持不变。举例说,如果以正常取段时晶体位置区间X-Ymm为基准,设定取段慢速为Amm/h,慢速提升时间为Bmin,按照该设定,拉单晶时,当晶体位置区间为X-Ymm时,单晶正常取段,然后晶棒会按照Amm/h的速度被拉动往上提升,且提升Bmin之后进行隔离,且在此期间,熔硅功率保持不变。
上述方式存在以下不足:
1、拉单晶过程中,并不能保证一定能按照设定值正常取段,有可能期间会出现断苞、不到设定值就取段的异常情况发生,而断苞或者异常取段后的单晶长度,即对应的晶体位置区间是没到设定值的,对应的,该些晶棒的慢速提升时间肯定要少于设定的Bmin,如果还是按照一样的设定值Bmin,则明显是浪费时间,而对于大尺寸单晶来说,需要更长时间降温,即是说慢速提升时间设定更长,如此一来,浪费的时间更多,从而拉单晶效率低;
2、在拉单晶过程中,单晶炉内一直保持充入惰性气体(如氩气)的状态,也就是说,拉单晶所用的时间越长,气体用量越多,从而生产成本越高。
而随着光伏平价上网的推进,光伏行业正面临着巨大的成本压力,这就要求在保证产品品质的前提下,不断降低产品成本。
发明内容
本发明的目的在于提供提高大尺寸直拉单晶效率的方法,其还可降低生产成本。
为实现上述目的,本发明所采用的技术方案是:
一种提高直拉单晶效率的方法,所述直拉单晶包括缓降温,在缓降温时,对应不同的晶体位置区间,设置不同的取段慢速以及慢速提升时间,且在不进行复投的缓降温基础上,对应不同的晶体位置区间,单晶炉主室内设置不同的熔硅功率。
任意两对应不同晶体位置区间的单晶中,晶体位置区间相对较低的单晶与另一单晶相比较,晶体位置区间相对较低的单晶对应的取段慢速相对较快,对应的慢速提升时间相对较短,对应的所述熔硅功率相对较低。
当晶体位置区间为0-800mm时,所述取段慢速设置为320-500mm/h,所述慢速提升时间设置为32-48min。
当晶体位置区间为0-800mm时,所述取段慢速设置为400mm/h,所述慢速提升时间设置为40min,所述熔硅功率设置为5kw。
当晶体位置区间为800-1500mm时,所述取段慢速设置为330-500mm/h,所述慢速提升时间设置为55-70min。
当晶体位置区间为800-1500mm时,所述取段慢速设置为400mm/h,所述慢速提升时间设置为60min,所述熔硅功率设置为6kw。
当晶体位置区间为1500-2300mm时,所述取段慢速设置为330-450mm/h,所述慢速提升时间设置为80-100min。
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