[发明专利]一种会聚角可调无磁飞秒电子源装置有效
| 申请号： | 201911172596.2 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN110890256B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 梁文锡;胡春龙;叶昶 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H01J37/073 | 分类号： | H01J37/073;H01J37/12;H01J37/21;H01J37/26 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 尹丽媛;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种会聚角可调无磁飞秒电子源装置，包括：真空腔，以及设置于真空腔内且中轴线重合并依次间隔排列的光电阴极、栅极、阳极、电会聚镜和电物镜；光电阴极用于在飞秒激光脉冲激励下产生飞秒脉冲电子束；光电阴极和阳极之间加电压，用于对电子束加速；电会聚镜和电物镜的电压均可调，用于两次对加速后的电子束会聚，得到平行束或实际所需会聚角的会聚束电子脉冲。本发明采用电会聚镜和电物镜来对脉冲电子束进行两次聚焦，电会聚镜和电物镜的电压灵活可调，从而可得到不同会聚程度和束斑尺寸的脉冲电子束。另外，本发明采用静电透镜能大幅减少电子源装置的尺寸，结构简单，进而能够提高所需电子束的质量以及灵活可控性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 会聚 可调 无磁飞秒 电子 装置 | ||
【主权项】：
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