[发明专利]一种生物基水溶性负性紫外光刻胶组合物、光刻胶及其制备方法有效
| 申请号： | 201911170223.1 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN111007698B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 周翼;王忍;孙友松;毛国平;傅志伟 | 申请（专利权）人： | 江苏汉拓光学材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/027 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 林高锋 |
| 地址： | 201612 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种生物基水溶性负性紫外光刻胶组合物，所述生物基水溶性负性紫外光刻胶组合物包括以下组分：a)室温稳定且不胶凝的明胶水溶液；b)水溶性光引发剂；以及c)可聚合单体，其包括多官能团的可交联的单体。本申请还涉及一种利用上述光刻胶组合物制备的光刻胶及其制备方法。本申请的光刻胶除了涂胶后的烘干步骤以外，全部光刻工艺过程都在室温下进行，且光刻胶和光刻工艺过程中无三废产生，节省能源且环境友好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生物 水溶性 紫外 光刻 组合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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