[发明专利]一种生物基水溶性负性紫外光刻胶组合物、光刻胶及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201911170223.1 申请日: 2019-11-26
公开(公告)号: CN111007698B 公开(公告)日: 2023-08-25
发明(设计)人: 周翼;王忍;孙友松;毛国平;傅志伟 申请(专利权)人: 江苏汉拓光学材料有限公司
主分类号: G03F7/038 分类号: G03F7/038;G03F7/027
代理公司: 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 代理人: 林高锋
地址: 201612 上海市松*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 生物 水溶性 紫外 光刻 组合 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1. 一种生物基水溶性负性紫外光刻胶组合物,其特征在于,所述生物基水溶性负性紫外光刻胶组合物包括以下组分:a)室温稳定且不胶凝的明胶水溶液;b)水溶性光引发剂,包括下述中的一种或几种:柠檬酸铁铵,草酸铁铵,Irgacure 2959, Quantacure BTC,Quantacure BPQ, Quantacure QTX, Quantacure ABP, Irgacure 907, Irgacure 369,和Darocure1173;以及,c)可聚合单体,包括下述中的一种或几种:丙烯酰胺,二甲基氨基丙基甲基丙烯酰胺,N,N-亚甲基双丙烯酰胺,多官能团丙烯酰胺,丙烯酰吗啉,季戊四醇三四丙烯酸酯,三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(TMPTA),乙氧基化双酚F二丙烯酸酯,乙氧基化双酚A二丙烯酸酯,和乙烯基吡咯烷酮;其中,

所述室温稳定且不胶凝的明胶水溶液通过下述方法来制备:将明胶加入水中,加热使得明胶溶于水,配制成明胶水溶液,然后将明胶水溶液加热到100-120℃,并保持0.3-18小时以对明胶进行高温降解改性,改性完成后将溶液降至室温,得到所述室温稳定且不胶凝的明胶水溶液;

或者,所述室温稳定且不胶凝的明胶水溶液通过下述方法来制备:直接采用水解明胶来制备。

2.如权利要求1所述的生物基水溶性负性紫外光刻胶组合物,其特征在于,当固含量为15%时,所述室温稳定且不胶凝的明胶水溶液在25℃下的粘度为1.5cP-150cP。

3.如权利要求2所述的生物基水溶性负性紫外光刻胶组合物,其特征在于,所述室温稳定且不胶凝的明胶水溶液在25℃下的粘度为2.5cP-40cP。

4.如权利要求1所述的生物基水溶性负性紫外光刻胶组合物,其特征在于,其还包括下述中的一种或几种:粘度调节剂、填料、颜料、染料、抗菌剂、阻聚剂、流平剂、和粘附性增加剂。

5. 一种使用如权利要求1所述的生物基水溶性负性紫外光刻胶组合物来制备生物基水溶性负性紫外光刻胶的方法,所述方法包括向a)室温稳定且不胶凝的明胶水溶液中加入b)水溶性光引发剂、以及c) 可聚合单体,形成溶液后再用亲水性滤膜过滤,得到所述生物基水溶性负性紫外光刻胶。

6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述亲水性滤膜的孔径为0.45微米。

7.如权利要求5所述的方法,其特征在于,以质量为基准计且只计算固体部分时,a)室温稳定的明胶水溶液、b)水溶性光引发剂、和c)可聚合单体的用量比例为:5-30%:0.01-6%:0.1-30%。

8.一种通过如权利要求5-7中任一项所述的方法制备的生物基水溶性负性紫外光刻胶。

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