[发明专利]非侵入性定量多层评估方法和所得多层组件在审
| 申请号： | 201911164197.1 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN111288901A | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 约翰尼斯·克莱门斯·沙布;索菲·贝蒂·克莱尔·杜瓦尔;皮耶罗-丹尼尔·格拉索;朱利安·雷内·安德烈·齐默尔曼;诺伯特·卢克 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;F01D5/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 初明明;林毅斌 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明题为“非侵入性定量多层评估方法和所得多层组件”。本公开提供了一种分析多层组件(100)的层厚度的方法。该方法包括：在多层组件(100)的表面(154)上的选定位置处，将具有预定几何形状的开口(120)部分地形成到多层组件(100)中。多层组件(100)包括多个材料层，所述多个材料层包括基底(104)和粘结涂层(110)。开口(120)暴露包括基底(104)的多个材料层中的每个。可增加暴露的多个材料层的对比度。使用数字显微镜(150)在开口(120)中形成暴露层的图像(152)，并且根据图像(152)并基于开口(120)的预定几何形状来计算粘结涂层(110)的厚度、耗尽层(118)的厚度\和/或氧化物层(116)的厚度。修复开口(120)允许多层组件(100)在测试之后用于预期目的，例如在气体涡轮中重新安装和重复使用。 | ||
| 搜索关键词： | 侵入 定量 多层 评估 方法 所得 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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