[发明专利]一种TFT-LCD铝蚀刻液在审
| 申请号： | 201911157342.3 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN110952095A | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 王润杰;卢洪庆;陈浩;严増源 | 申请（专利权）人： | 苏州博洋化学股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 王利斌 |
| 地址： | 215151 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TFT‑LCD铝蚀刻液配方，其特征在于，按照重量份数计算，包括：无机酸60‑70份，无极强酸5‑10份，调节剂10‑15份，缓蚀剂0.1‑1份，络合剂0.1‑1份。本发明的有益效果：该蚀刻液增加了新型酰胺类络合剂络合剂，蚀刻时表面的铝离子化合物有序络合，易冲离表面，不良品率由5%降至2~3%，而且增加了羟基磷酸盐缓蚀剂缓蚀剂，降低侧蚀，使侧蚀由200nm降低至120~150nm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tft lcd 蚀刻 | ||
【主权项】：
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