[发明专利]一种无CCD位移装置的高分辨错位叠层成像装置有效
| 申请号： | 201911151794.0 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN110855866B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 窦健泰;武俊超;童荣景;赵明琳;厉淑贞;汪园香 | 申请（专利权）人： | 江苏科技大学 |
| 主分类号： | H04N5/225 | 分类号： | H04N5/225;G02B21/36 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 212008 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种无CCD位移装置的高分辨错位叠层成像装置，包括相干光源、扩束准直系统、尺寸可调光阑、X‑Y二维位移台、待测样品、二元光栅、平行平板、聚焦透镜、挡板和CCD，相干光源发出的光束经扩束准直系统和尺寸可调光阑后，照射到放置在X‑Y二维移动平台上的待测样品上，二元光栅将经待测样品调制后的光束分为0级衍射光和±1级功能错位光，调节平行平板的角度可改变错位光束位置，再结合聚焦透镜，可在CCD上形成具有不同错位量的光斑，等分CCD，提取各错位光斑数据，代入到相位复原方法中，复原出高分辨的样品相位。本发明将叠层成像与错位成像方法结合，简化系统结构，无CCD位移装置，实现了高速、高效、大视场、高分辨成像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ccd 位移 装置 分辨 错位 成像 | ||
【主权项】：
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