[发明专利]一种无CCD位移装置的高分辨错位叠层成像装置

权利要求书

1.一种无CCD位移装置的高分辨错位叠层成像装置，其特征在于，包括叠层成像阵列扫描系统和无CCD位移装置的错位成像系统，所述的叠层成像阵列扫描系统位于无CCD位移装置的错位成像系统正前方，所述的叠层成像阵列扫描系统包括依次设置的光源、扩束准直系统、光阑和移动平台；所述的无CCD位移装置的错位成像系统包括依次设置的光栅、挡板和CCD，根据光栅方程计算出经光栅分光后的±1级衍射光的衍射角，将平行平板和聚焦透镜放置在±1级衍射光的衍射角区域，其中，平行平板位于聚焦透镜前方，±1级衍射光为形成错位光斑所需的错位光束，经光栅出射后的0级衍射光被挡板遮挡，调节平行平板的厚度和与光轴的夹角，由聚焦透镜聚焦后，可在CCD上得到具有不同错位量的光斑，等分CCD，提取各光斑数据，利用错位成像方法将提取的光各斑数据合成高分辨图像。

2.根据权利要求1所述的一种无CCD位移装置的高分辨错位叠层成像装置，其特征在于，所述的光栅包括常规二元光栅和正交二元光栅，其中，常规二元光栅可在CCD上形成两个光斑，实现对角错位；正交二元光栅可在CCD形成四个光斑，实现四点错位。

3.根据权利要求1所述的一种无CCD位移装置的高分辨错位叠层成像装置，其特征在于，所述的平行平板的厚度在0～10mm之间，平行平板与光轴的夹角在0～45°之间。

4.根据权利要求1所述的一种无CCD位移装置的高分辨错位叠层成像装置，其特征在于，所述的高分辨图像代入到叠层成像复原方法中，即可复原出高分辨的样品相位。